【摘要】
在超薄金屬材料、銅箔、不銹鋼箔、鈦合金箔、鎳合金箔等材料加工工具領域，采用刀模切割或化學蝕刻法。
在超薄金屬材料、銅箔、不銹鋼箔、鈦合金箔、鎳合金箔等材料加工工具領域，采用刀模切割或化學蝕刻法。隨著需求的不斷增加，特別是在5G、航空航天、衛(wèi)星等領域的高標準要求下，傳統的工藝模式逐漸變得虛弱。舉例來說，刀模切割會產生變形和毛刺殘留，影響產品性能；化學蝕刻方式加工需要網版，特別是對于多規(guī)格的材料加工所需網版數量大，不利于各種產品的加工。此外，化學蝕刻對環(huán)境污染嚴重，尤其是在環(huán)?？刂频膲毫ο拢絹碓蕉嗟幕瘜W蝕刻加工廠被撤離，給加工企業(yè)帶來了很多麻煩。以此為前提，激光切割超薄金屬箔的工藝方法進入了相關領域，為該行業(yè)的發(fā)展提供了新的思路。
目前，超薄金屬材料超過激光開發(fā)的皮秒紫外激光切割機應用于不銹鋼箔、銅箔、鎳合金箔、鈦合金箔等材料的切割。與納秒激光切割設備相比，皮秒激光切割機優(yōu)勢明顯，無毛刺、變形、熱影響低，碳化程度低于2微米。
皮秒激光切割機靈活性高，不僅可以切割超薄金屬材料，還可以對多層材料的腐蝕或材料表面的微納導流結構進行加工，如硅片、不銹鋼光柵、陶瓷、薄膜材料、玻璃等。
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